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工場ナノテクノロジーへの道を拓くイオン工学ハンドブック : 薄膜合成・加工　他

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ナノテクノロジーへの道を拓くイオン工学ハンドブック : 薄膜合成・加工・イオン注入・表面改質・デバイス応用・マイクロマシン等著者水野博之監修平尾孝ほか編出版社イオン工学研究所刊行年平成15年5月発行ページ数 1126頁サイズ B5判冊数 1冊 ISBN 4526053805 全体的に黄ばんでいますが中身を読む上で支障はありません

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